移相式平面干涉的原理是在干涉仪中两相干光之间的相位差引入等间隔阶梯式位移，当参考光程（或相位）变化时，干涉条纹的位置也作相应的移动。在此过程中，用光电探测器进行采样，然后把光强变化数字化后存入贞储存器，按照一定的数学模型根据光强的变化求得波面的相位分布，同时也可以自动判断出波面的凹凸性。
改造工作完成后的移相式数字平面干涉仪的光路布置。首先，在光源光路部分采用了HE-NE激光器，同时增加了毛玻璃作为空间虑波器以改善激光的散斑影响，其次，在接收光路采用了活动的CCD摄像机及其配套镜头，在保留目视观察的基础上，可将干涉光强转换成为图像信号并送入计算计，第三，在改造中，增加了3组压电陶瓷堆构成移相器，在测试时推动300MM的参考平晶作等间隔位移，以产生多幅不同相位的干涉图。
