位移传感器仪器校准装置,是以自行研制的具有高精度高抗干扰能力的干涉仪作为基准,对被测传感器仪器校验的伸缩进行非接触绝对的测量仪器。装置由单频激光干涉系统,工作台粗进给系统,微位移进给系统,传感器装夹系统等组成,利用配套的专用开发软件可实现多种类型直线位移传感器仪器校正数据的自动处理,证书的自动打印和校准信息的数据库管理。
位移传感器仪器校准装置,是以自行研制的具有高精度高抗干扰能力的干涉仪作为基准,对被测传感器仪器校验的伸缩进行非接触绝对的测量仪器。装置由单频激光干涉系统,工作台粗进给系统,微位移进给系统,传感器装夹系统等组成,利用配套的专用开发软件可实现多种类型直线位移传感器仪器校正数据的自动处理,证书的自动打印和校准信息的数据库管理。