平面等厚干涉仪
平面等厚干涉仪是采用等厚光波干涉原理，用于测量物体表面平面度的光学精密计量仪器。
深圳计量校正外校该仪器可应用于光学车间、实验室、计量室。按其结构分为两种：用钠光作为光源、
不带标准平面平晶的平面等厚干涉仪(如图1).用激光作光源、带标准平面平晶的激光平面干涉仪（如图1）.
校验仪器光路系统
平面等厚干涉仪仪器的光路系统如图2所示。
照明系统由钠单色光源3发出单色光，通过光阑2射入仪器内半透反光镜校准仪器校正1 1中反射至反射镜4再反射至反射镜1再到准直物镜5上，
光阑2位于物镜5的焦面上，经过物镜5的光束为平行光束。
光线经物镜5投射在被检平晶6和标准平晶8上，光线经平晶6和8的工作面反射回来形成相干光束。