平面等厚干涉仪

平面等厚干涉仪是采用等厚光波干涉原理,用于测量物体表面平面度的光学精密计量仪器。

深圳计量校正外校该仪器可应用于光学车间、实验室、计量室。按其结构分为两种:用钠光作为光源、

不带标准平面平晶的平面等厚干涉仪(如图1).用激光作光源、带标准平面平晶的激光平面干涉仪(如图1).

校验仪器光路系统

平面等厚干涉仪仪器的光路系统如图2所示。

照明系统由钠单色光源3发出单色光,通过光阑2射入仪器内半透反光镜校准仪器校正1 1中反射至反射镜4再反射至反射镜1再到准直物镜5上,

光阑2位于物镜5的焦面上,经过物镜5的光束为平行光束。

光线经物镜5投射在被检平晶6和标准平晶8上,光线经平晶6和8的工作面反射回来形成相干光束。

 

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