一种典型的电容式MEMS加速度传感器结构 电容式加速度传感器有许多优点,比如高灵敏度、良好的直流响应特性、低温度效应和低功率耗散。但是,由于传感器输出的高阻抗,电容式加速度传感器 易受电磁干扰影响[4] 。

比较有代表性的产品是美国AD公司生产的ADXL系列MEMS电容式加速度传感器,该传感器利用表面硅微机械加工工艺与集成电路工艺相兼容的特点,将传感器与处理电路同时加工在一块芯片上,解决了电容量小、易受分布电容影响的问题。

1993年投产以来, 现已形成ADXL系列产品[6] 。2.3 压电式 压电式加速度传感器的敏感元件是压电材料,压电材料直接将作用于质量块的力转换为电信号。压电 式MEMS加速度传感器的工作原理如图3所示[7] 。

仪器校验加速度传感器的质量块与压电材料相连,当输入加速度 时,加速度通过质量块形成的惯性力加在压电材料上,使压电材料产生变形,压电材料产生的变形和由此产生的电荷(电压)与加速度成正比,输出电量经放大后就可检测出加速度大小。 压电式加速度传感器被认为是测量绝对振动的最好工具,因为与其他已知类型的加速度传感器相比,压电式加速度传感器有如下优点:动态范围宽,在全计测技术综合评述·7· 图3 压电式MEMS加速度传感器原理示意图 部动态范围内线性度好,频率范围宽,质量轻.

 

 

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