测量重复性考核和稳定性考核

  一般情况下,我们采取选次级计量标准器作为高一级计量标准的被测对象,以此进行测量重复性考核和稳定性考核。      为了实现计量标准测量重复性考核和稳定性考核的真正目的,确保检定/校准结果的准确可靠,计量标准的使用者应该尽可能的选备稳定的被测对象——核查标准,或租用其他机构的该种核查标准,不仅可以用其进行计量标准测量重复性考核和稳定性考核,还能够进行计量标准器的运行检查或验证比对试验。

 

 

       研究了双波长集成光栅干涉微位移检测方法,在合适的初始间隙的情况下,通过交替切换利用两种波长中灵敏度较大的输出信号,实现了远大于单波长干涉的测量范围,同时,可以在一定范围内实现绝对位置测量。

利用硅/玻璃键合体硅工艺制作的集成光栅敏感芯片,通过静电驱动使敏感芯片的可动部件产生位移,利用双波长干涉,测得芯片可动部件与光栅间的起始间隙为7.522肛m,实现了可动部件约为1.659μm的位移测量。在间隙从7.522μm到6.904μm区间618 nm的位移测量范围,其最大噪声等效位移为0.2 nm。实验结果表明利用双波长集成光栅干涉测量法使集成光栅位移测量量程得到了扩展,并实现了一定范围内的绝对位置测量。

4.3  基于2次莫尔条纹的光栅纳米测量系统     采用2次莫尔条纹法也能够实现高倍数的莫尔条纹光学细分,其光路结构如图3所示,光栅尺与指示光栅形成两路莫尔条纹,其中一路莫尔条纹经过透镜转向后与另一路莫尔条纹通过棱镜转向形成2次莫尔条纹。透镜的作用是将1次莫尔条纹信号缩小,以便两组1次莫尔条纹干涉形成具有更好放大作用的2次莫尔条纹。
   本文由仪器计量校准机构推出

 

 

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