仪器校准在开始测量前，触针应处于电桥输出的零位附近。
对于有表示触针位置的仪器，将触针与被测表面接触，把测杆调到水平即可。
仪器检测灵敏度校验
这项校验仅使用于带记录器的仪器，以检查记录器的垂直放大倍率。有的仪器在灵敏度校验前，需作传感器平衡和相位校验，应按仪器使用说明书进行。
仪器校验粗糙度参数示值校验
常用的方法是利用仪器附带的校验样板，将仪器的测量值与样板的检定值比较，通过人工调节（有的仪器会自动进行）使二者的数值尽可能接近。
校验样板的型式主要有单刻线样板、三刻线样板，有的便携式仪器采用均匀性较好的机械加工方式制造的校验样板。
仪器校正触针针尖的检查
触针使用不当会使针尖断裂或加剧磨损，因此要适时予以检查，特别是在测量中发现异常现象时。利用400倍以上显微镜或投影仪，观察触针尖端，必要时测定针尖半径或平头宽度，其尺寸应和规定的针尖半径相当。
